微机械加工技术

被引：4

作者：

杨岳，周兆英，叶雄英，李勇

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系

来源：

半导体技术 | 1994年 / 06期

关键词：

微机械，半导体LIGA，精密加工;

D O I：

10.13290/j.cnki.bdtjs.1994.06.002

中图分类号：

TG66 [特种加工机床及其加工];

学科分类号：

080201 ;

摘要：

介绍了半导体加工技术、ＬＩＧＡ工艺及精密加工技术等在微机械加工技术中的应用。微机械的研究发展以及在医疗、生物工程等方面的应用，必将给人类的生产和生活带来巨大的变化。

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共 1 条

[1] 微型机械及其发展 [J].

周兆英 ;

叶雄英 ;

李勇 ;

江小宁 .

中国仪器仪表, 1993, (04) :14-17