Wollaston棱镜方位对激光干涉测量精度的影响

被引：3

作者：

张琢

刘丽华

于瀛洁

李鹏生

机构：

[1] 哈尔滨工业大学机电工程学院!黑龙江省哈尔滨市，

来源：

航空计测技术 | 1999年 / 01期

关键词：

Wollaston棱镜; 方位; 精度;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN24 [激光技术、微波激射技术];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

在双频激光干涉测量系统中，Wollaston棱镜是不可缺少的重要光学元件，它可将双频激光按偏振方向分为测量光和参考光，从而实现高精度测量；但是，如果Wollaston棱镜的安装方位相对入射光线方向以及与聚焦透镜距离不同时，测量结果将会不同。本文结合表面粗糙度激光测量系统，从理论上定量分析了Wollaston棱镜的安装方位对测量精度的影响。

引用

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