薄膜宽度在线测量系统关键技术的研究

被引：4

作者：

徐树兴

王宝光

郑义忠

机构：

[1] 天津大学测量技术与仪器国家重点实验室

[2] 天津大学电子信息工程学院

来源：

传感技术学报 | 2006年 / 06期

关键词：

薄膜宽度; 线阵CCD; 远心光路; 在线检测; CPLD;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

为满足生产现场薄膜宽度实时在线测量的需要,设计了并实现了高精度测量薄膜宽度的装置,系统利用稳功率的一字线形激光器照明,采用高分辨率线阵CCD作为传感器,物方远心成像光路接收以消除振动对测量影响,并采用“CPLD+MPU”硬件电路对输出信号处理,以确保测量精度.整个系统设计结构精简,实验证明了系统的可行性与健壮性.

引用

页码：2478 / 2480

页数：3

共 8 条

[1] 基于单片机的线阵CCD实时检测系统的开发 [J].