响应三甲胺气体低阻TiO2基气体传感器研制（英文）

被引：1

作者：

孙海波

王强

裴素华

孙振翠

机构：

[1] 山东师范大学半导体研究所

[2] 山东师范大学半导体研究所山东济南

[3] 山东济南

来源：

关键词：

二氧化钛; 热退火; 掺杂; 三甲胺;

D O I：

10.13250/j.cnki.wndz.2003.12.007

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

二氧化钛是一种良好的响应三甲胺气体的敏感材料,然而用它做成传感器后存在一个明显的缺点:阻值太高。文中采用不同气氛热退火和掺杂方法来提高TiO2基材料的电导率,从而制成一种新型低阻敏感元件,对三甲胺灵敏度高、选择性好。

引用

页码：28 / 31

页数：4

共 6 条

[1]

Detectionoffresh-nessoffishbyasemiconductiveRu/TiO2sensor. SHIMIZUY,TAKAOY,EGASHIRAM. JElec-trichemSoc . 1988

[2]

Gas&HumidsensitiveelementsandApplication. KANGCHH,etal. . 1988

[3]

Detectionoffishfreshnesswithanenzymesensorsystem. KARUBEI,MATSUNAGAH,SUZUKIS,etal. JAgrFoodChem . 1984

[4]

Gas-sensingpropertiesofTh/SnO2thin-filmgassensortoTrimethylamine. WEIPH,LIGB,ZHAOSY,etal. JElectrochemSoc . 1999

[5]

Investigationofsynthesisandpropertiesofcomplexmetaloxidenanoparticles. LIXY. . 1996

[6]

Detectionoftrimethyla-minebysemiconductorsgassensorswithrutheniumandtheirapplicationtofreshnesssensors. TAKAOY,SHIMIZUY,EGASHIRAM. DenkiKagaku . 1988