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飞秒激光用多层介质膜脉宽压缩光栅的设计
被引：10
作者：
孔伟金
刘世杰
沈健
沈自才
邵建达
范正修
机构：
[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所
来源：
关键词：
飞秒激光;
脉宽压缩光栅;
多层介质膜;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN253 [光纤元件];
学科分类号：
0702 ;
070207 ;
摘要：
以薄膜光学的干涉理论和衍射光学的傅里叶模式理论为基础,给出了0·8μm飞秒激光器用多层介质膜脉宽压缩光栅的理论设计;设计采用H3L(HL)^9H0·5L2·4H的多层介质膜为基底,当刻蚀后表面浮雕结构的占宽比为0·35,线密度为1480线/mm,槽深为0·2μm,顶层HfO2的剩余厚度为0·15μm时,对于Littrow角度(36·7°)和TE波模式入射的衍射光栅其-1级衍射效率达到95%以上.
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页码：1143 / 1147
页数：5
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