螺旋波等离子体的实验研究

被引：10

作者：

江南

王珏

凌一鸣

机构：

[1] 东南大学电子工程系!南京

来源：

真空科学与技术 | 2000年 / 03期

关键词：

螺旋波等离子体; 高密度等离子体; 朗廖尔双探针;

D O I：

10.13922/j.cnki.cjovst.2000.03.015

中图分类号：

TN405 [制造工艺];

学科分类号：

080903 ; 1401 ;

摘要：

螺旋波等离子体是一种高密度的低温低气压等离子体。利用一种环绕于玻璃管或石英管外壁的射频天线与磁化等离子体中的右旋极化波的共振 ,可以非常有效地通过朗道吸收加热电子 ,产生高密度等离子体。本文介绍了一种玻璃系统的螺旋波等离子体的发生装置 ,这在国内尚属首次。利用朗廖尔双探针法初步研究了该螺旋波等离子体的特性。估计该等离子体中心区等离子体密度可超过 1× 1 0 12 cm-3 。

引用

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