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微机电系统技术
被引：7
作者：
周兆英
叶雄英
唐飞
朱俊华
汤扬华
卜敏强
机构：
[1] 清华大学微米／纳米技术研究中心
来源：
关键词：
执行器;
微型机器人;
微型传感器;
D O I：
暂无
中图分类号：
TP271.4 [];
学科分类号：
0711 ;
071102 ;
081103 ;
081104 ;
摘要：
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