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GaN——第三代半导体的曙光
被引:293
作者
:
梁春广
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机构:
电子工业部第十三研究所
梁春广
张冀
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机构:
电子工业部第十三研究所
张冀
机构
:
[1]
电子工业部第十三研究所
来源
:
半导体学报
|
1999年
/ 02期
关键词
:
D O I
:
暂无
中图分类号
:
学科分类号
:
摘要
:
自从蓝色GaN/GaInNLEDs研制成功之后,氮化物逐渐成为化合物半导体领域中一颗耀眼的新星.简要介绍了GaN的基本特性.探讨了材料的生长技术,包括衬底的选择和外延方法.最后给出了GaN基器件,如LEDs、LDs、FETs和探测器等的发展现状,同时描绘了氮化物器件的应用领域和未来的发展前景.
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页数:11
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