脉冲激光淀积BaTiO3薄膜的介电与铁电特性

被引:3
作者
刘彦巍
张道范
李春苓
周岳亮
崔大复
朱镛
陈正豪
机构
[1] 中国科学院物理研究所光物理实验室
[2] 中国科学院物理研究所
关键词
BaTiO3; 铁电性能; 介电; 脉冲激光淀积; 基片温度; 铁电特性;
D O I
暂无
中图分类号
O484.4 [薄膜的性质];
学科分类号
080501 ; 1406 ;
摘要
用脉冲激光淀积方法在SrTiO3衬底上制备了BaTiO3/YBa2Cu3O7-δ(铁电/超导)双层膜,X射线分析表明BaTiO3薄膜是高度c取向的.对BaTiO3薄膜的介电和铁电性能进行了实验研究.观察到铁电薄膜特有的电滞线和蝶型C V曲线,薄膜呈现出较好的铁电性,在铁电随机存储等领域有重要的应用前景
引用
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共 1 条
[1]  
薄膜物理.[M].薛增泉等编著;.电子工业出版社.1991,