精密角度传感器及其标定技术的研究

被引：14

作者：

马军山

王向朝

方祖捷

张世宙

清野慧

机构：

[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所!上海,中国科学院上海光学精密机械研究所!上海,中国科学院上海光学精密机械研究所!上海,日本东北大学大学院工学研究科!仙台,日本东北大学大学院工学研究科!仙台

来源：

光学学报 | 2001年 / 02期

关键词：

角度传感器; 临界反射; 自标定;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

介绍了精密角度传感器和不使用任何精密参考仪器的角度传感器的自标定方法。采用补偿技术制作了一对角度传感器 ,可以克服光源热漂移带来的影响 ,并进行了标定。两个角度传感器的测量范围为 180″,分辨率分别为 0 .0 0 3″,0 .0 0 4″。平均灵敏度标定的重复性误差为 0 .0 15 % ,线性误差的标定重复性误差为 0 .0 15″。

引用

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