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镜面面型误差的曲面方程处理方法
被引:26
作者
:
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
吴清文
机构
:
[1]
中国科学院长春光学精密机械研究所
来源
:
光学精密工程
|
1998年
/ 06期
关键词
:
面型,误差,最小二乘法,均方根;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
O435.2 [光具组理论与象差理论];
学科分类号
:
摘要
:
在论述Zernike多项式的优缺点的基础上,提出用曲面方程处理方法来处理镜面面型。最后,讨论了曲面方程法的适应性和局限性。
引用
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页码:57 / 61
页数:5
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