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薄膜和多层膜的X射线散射方法与应用
被引:2
作者
:
张爱梅
论文数:
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引用数:
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机构:
南京大学固体微结构物理国家重点实验室南京大学物理系
张爱梅
吴小山
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机构:
南京大学固体微结构物理国家重点实验室南京大学物理系
吴小山
机构
:
[1]
南京大学固体微结构物理国家重点实验室南京大学物理系
来源
:
物理
|
2007年
/ 07期
关键词
:
薄膜;
X射线散射;
微结构;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
O484.41 [];
学科分类号
:
0803 ;
摘要
:
文章主要介绍了几种X射线散射技术,包括X射线小角反射技术、X射线漫散射技术、掠入射X射线衍射和多晶薄膜的小角衍射技术。通过具体的事例说明这些X射线散射方法在薄膜研究中的应用。
引用
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页数:8
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