二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法

被引：2

作者：

熊木地

张慧敏

肖文礼

邢忠宝

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所!吉林长春

来源：

光电工程 | 2001年 / 02期

关键词：

二元光学; 激光直写; 主轴伺服控制; 速度控制; 自适应控制;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN256 [集成光学器件];

学科分类号：

0702 ; 070207 ;

摘要：

介绍了二元光学元件激光直写设备的精密伺服控制系统 ,分析了主轴伺服系统的结构与控制系统的性能要求。在二元光学元件激光直写设备中 ,主轴速度调节效果的好坏是决定刻划效率与精度的关键因素之一。本文提出了利用离焦信号的特点 ,判断出离焦信号的极值点 ,并计算相邻极值点之间的时间间隔 ,最终估算出离焦信号频带 ,并依据离焦信号的频带自动调节主轴速度的新方法。采用此方法可极大地提高刻划效率。

引用

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