相位测量轮廓术中随机相移误差的校正算法

被引：20

作者：

王立无

苏显渝

周利兵

机构：

[1] 四川大学光电科学技术系,四川大学光电科学技术系,四川大学光电科学技术系成都,成都,成都

来源：

光学学报 | 2004年 / 05期

关键词：

信息光学; 光学技术与仪器; 相移算法; 相位测量轮廓术; 相位误差;

D O I：

暂无

中图分类号：

P221 [平面控制测量];

学科分类号：

摘要：

在相位测量轮廓术 (PMP)中 ,随机相移误差是导致测量误差的重要因素 ,提出一种新的随机相移误差的校正算法 ,在五步相移的基础上不需要求解相位分布 ,通过近似处理可以直接求解相移过程中存在的随机相移误差 ,在保证精度的情况下 ,能大大减少迭代次数和计算量。推导了新算法的计算公式 ,详细说明了随机相移误差的求解过程。计算机模拟和实验证实了新的算法的有效性。与In bokKong的算法相比较 ,新算法能大大减少迭代次数和计算量。该新算法也同样适用于相移干涉计量。

引用

页码：614 / 618

页数：5

共 6 条

[1] Portableinspectionofprecisionsurfacesby phase shiftinginterferometrywithautomaticsuppressionofphase shifterrors. InBokKong,KimSeungWoo. Opt.Engng . 1995
[2] Phase-stepping grating profilometry: utilization of intensity modulation analysis in complex objects evaluation. Su Xianyu,von Bally G,Vukicevic D. Optics Communication . 1993
[3] Automatic phasemeasuring profilometry of 3-D diffuse object. Srinivasan V,Lui H C,Halioua M. Applied Optics . 1984
[4] Gerneralalgorithmofphase shiftinginterferometrybyiterativeleast-squaresfitting. InBokKong,KimSeungWoo. Opt.Engng . 1995
[5] Automated phase-measuring profilometry using defocused projection of a Ronchi grating. Su Xianyu,Zhou Wensen,von Bally G et al. Optics Communication . 1992
[6] Automated phase-measuring profilometry using defocused projection of a Ronchi grating. Su Xianyu,Zhou Wensen,von Bally G et al. Optics Communication . 1992

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