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改进型Czerny-Turner成像光谱仪光学系统设计方法
被引：25
作者：
刘健鹏
唐义
黄刚
张止戈
倪国强
机构：
[1] 北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
来源：
关键词：
成像光谱仪;
Czerny-Turner结构;
柱面反射镜;
远紫外;
D O I：
暂无
中图分类号：
O433.1 [光谱测量];
学科分类号：
0703 ;
070302 ;
摘要：
像散是目前影响Czerny-Turner结构成像光谱仪空间分辨率最大的像差。首先引入柱面反射镜,利用光焦度衡量像散大小,推导出易于计算的像散校正公式,有效地校正了像散。给出准直镜到光栅距离的计算方法,有效校正了成像光谱仪边缘视场像差。给出了成像光谱仪像面倾角的计算方法,实现了宽波段的像差校正。最终利用上述方法设计了一套用于115～200nm的改进型Czerny-Turner成像光谱仪,焦距f′=48mm,F数为5.0,全视场、全波段调制传递函数(MTF)在0.7以上。全波段光谱分辨率为0.22nm,像面大小为8mm×7mm。设计方法适用于多种结构要求的成像光谱仪。
引用
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页码：242 / 248
页数：7
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