采用Ar+离子束溅射沉积技术在钛基体上沉积羟基磷灰石薄膜涂层,Ar+离子束的能量分别为0.9keV、1.2keV和1.5keV。利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和红外光谱(FTIR)等检测方法,对制备的羟基磷灰石薄膜涂层进行了表征。X射线衍射和透射电镜结果表明该薄膜涂层为非晶态;红外光谱中无羟基(OH-)特征峰存在,CO=3根吸收峰的出现说明制备过程中会引入CO=3根;扫描电镜观察结果显示出制备的羟基磷灰石薄膜涂层致密、均匀;划痕实验结果表明涂层与钛基体间的结合紧密。以上结果表明,离子束溅射沉积技术可以用于沉积羟基磷灰石薄膜涂层钛种植材料,制备修复体和金属种植体