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桥式硅压阻器件在气压测量中的应用
被引:6
作者:
祝宇虹
纪军红
孙宁
机构:
[1] 哈尔滨工业大学机器人研究所
来源:
关键词:
压阻效应;
桥式压阻器件;
气压测量;
D O I:
10.13873/j.1000-97872005.05.027
中图分类号:
TH812 [压力仪表];
学科分类号:
摘要:
介绍了桥式硅压阻器件的工作原理、性能指标和工作特点。通过设计实例说明了压阻器件的应用方法。试验证明:这种气压器件精度高、测量范围宽、体积和普通IC芯片相同、价格低,可以广泛应用在各种气压测量和控制领域。
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