桥式硅压阻器件在气压测量中的应用

被引:6
作者
祝宇虹
纪军红
孙宁
机构
[1] 哈尔滨工业大学机器人研究所
关键词
压阻效应; 桥式压阻器件; 气压测量;
D O I
10.13873/j.1000-97872005.05.027
中图分类号
TH812 [压力仪表];
学科分类号
摘要
介绍了桥式硅压阻器件的工作原理、性能指标和工作特点。通过设计实例说明了压阻器件的应用方法。试验证明:这种气压器件精度高、测量范围宽、体积和普通IC芯片相同、价格低,可以广泛应用在各种气压测量和控制领域。
引用
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