表面粗糙度和微观轮廓非接触测量的现状与技术水平

被引:1
作者
郑华喜
机构
[1] 成都工具研究所
关键词
表面粗糙度; 微观轮廓; 非接触测量;
D O I
10.16567/j.cnki.1000-7008.1992.08.028
中图分类号
学科分类号
摘要
近年来,工件表面的非接触测量应用越来越广泛。本文介绍了表面非接触测量几种主要方法,并作了分析比较,表明了非接触测量技术在现代工业表面质量控制中的重要作用。
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[1]  
Limits of surface Measurement by Optical Probes. Stedman M. Proceedings of SPIE the International Society for Optical Engineering . 1988