哈特曼-夏克传感器在非球面加工中的应用

被引：21

作者：

饶学军

凌宁

王成

姜文汉

机构：

[1] 中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所成都,成都,成都,成都

来源：

关键词：

哈特曼夏克传感器; 微透镜阵列; 非球面;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212.1 [物理传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

论述了哈特曼夏克传感器的测量原理 ,对它的测量精度进行了标定。同时还介绍了哈特曼夏克传感器在光学车间实际测量大口径非球面系统的情况 ,表明哈特曼夏克传感器是一种非常有效的光学车间检测手段

引用

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