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[1]
Quantitative surface topogrophy determination by Nomarski reflection microscopy.I. Theory, J. D.L.Lessor et al. Journal of the Optical Society of America . 1979
旋转检偏器移相的微分干涉显微镜
被引：2
作者：
高宏
薛实福
李庆祥
严普强
机构：
[1] 清华大学精密仪器系
[2] 清华大学精密仪器系 北京
[3] 北京
来源：
关键词：
微分干涉显微术;
表面形貌;
相移干涉技术;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
提出了一种干涉相位差与检偏器方位角成线性关系的新型微分干涉显微镜,利用相移干涉技术,可定量测量样品的表面形貌及粗糙度参数,系统的垂直和横向分辨率分别为1nm和0.5μm。
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