KrF准分子激光精密加工K9光学玻璃的实验研究

被引：7

作者：

江超

王又青

机构：

[1] 华中科技大学

[2] 华中科技大学湖北武汉

[3] 湖北师范学院物理系

[4] 湖北黄石

[5] 湖北武汉

来源：

电加工与模具 | 2003年 / 02期

关键词：

准分子激光器; 激光烧蚀; 激光精密加工; 激光切割与打孔;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744 [物理光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

采用波长 2 4 8nm的KrF准分子激光器对K9光学玻璃的精密微细加工进行了研究 ,探讨了准分子激光与玻璃的相互作用机理。进行了表面切割和打孔实验 ,研究了激光加工的工艺参数及加工质量的变化规律 ,对加工后的工件表面形貌进行了分析。

引用

页码：33 / 35+62 +62

页数：4

共 2 条

[1]

High-quality and high-efficiency machining of glass materials by laser-induced plasma-assisted ablation using conventional nanosecond UV, visible, and infrared lasers[J] . J. Zhang,K. Sugioka,K. Midorikawa.Applied Physics A Materials Science & Processing . 1999 (1)

[2] High-speed machining of glass materials by laser-induced plasma-assisted ablation using a 532-nm laser [J].

Zhang, J ;

Sugioka, K ;

Midorikawa, K .

APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING, 1998, 67 (04) :499-501

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