激光微细加工装置及其应用

被引：1

作者：

高晓萍

机构：

来源：

关键词：

激光微细加工; 加工部位; 准分子激光器; 二聚物激光器; 透镜组; 莱塞加工; 激光技术; 装置; 倍率;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

摘要：

<正> 本文介绍日本浜松光子公司研制的加工分辨率为1μm的C4540型激光微型加工装置的结构、特点、加工原理及其应用实例.研制背景因为准分子激光器在0.193μm至0.351μm波长的紫外光波段范围振荡,所以从原理上讲可以小于0.5μm的分辨率

引用

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