线加速度计的现状和发展动向

被引:6
作者
吕志清
侯正君
机构
[1] 四川压电与声光技术研究所
关键词
线加速度计,石英振梁,微机械;
D O I
暂无
中图分类号
TH824.4, [];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
线加速度计是惯性测量和导航系统的主要惯性元件之一。当前,传统的力再平衡摆式加速度计占据加速度计的主要市场。对加速度计输出数字化的迫切要求,推动了石英振梁式加速度计的发展。随着微电子加工技术向惯性技术的渗透,微硅加速度计已崭露头角并受到广泛的关注。
引用
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共 2 条
[1]   微机械惯性器件 [J].
吕志清 ;
吴旭峰 .
压电与声光, 1997, (06) :16-21
[2]   微机械线加速度计 [J].
候正君 .
压电与声光, 1996, (03) :174-178