共 2 条
线加速度计的现状和发展动向
被引:6
作者:
吕志清
侯正君
机构:
[1] 四川压电与声光技术研究所
来源:
关键词:
线加速度计,石英振梁,微机械;
D O I:
暂无
中图分类号:
TH824.4, [];
学科分类号:
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要:
线加速度计是惯性测量和导航系统的主要惯性元件之一。当前,传统的力再平衡摆式加速度计占据加速度计的主要市场。对加速度计输出数字化的迫切要求,推动了石英振梁式加速度计的发展。随着微电子加工技术向惯性技术的渗透,微硅加速度计已崭露头角并受到广泛的关注。
引用
收藏
页码:26 / 34
页数:9
相关论文