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高精度微位移差拍激光干涉仪
被引：12
作者：
徐毅
叶孝佑
李成阳
邹玲丁
许婕
高峰
机构：
[1] 中国计量科学研究院
来源：
关键词：
激光干涉仪;
激光器;
腔长;
光学干涉仪;
光激射器;
电子器件;
微位移测量;
位移传感器;
位移计;
测量范围;
峰值光强;
高精度;
差拍;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
本文介绍用于高精度微位移测量的差拍激光干涉仪,其不确定度优于1×10-3μm,可望作为研究多种微位移测量方法的标准。
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