Ar等离子体处理PET在非晶硅太阳电池中的应用

被引：1

作者：

倪牮

张建军

曹丽冉

李林娜

孙建

耿新华

赵颖

机构：

[1] 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所

来源：

光电子激光. | 2009年 / 20卷 / 11期

关键词：

塑料衬底; 聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET); Ar等离子体处理; 柔性太阳电池;

D O I：

10.16136/j.joel.2009.11.001

中图分类号：

O484.4 [薄膜的性质];

学科分类号：

摘要：

在射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)系统的腔室内,对聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)塑料薄膜进行Ar等离子体预处理,并采用光发射谱(OES)对不同处理参数下的氩气辉光状态进行在线监测。对处理前后PET及PET/ITO进行透过谱、原子力显微镜(AFM)以及扫描电镜(SEM)的测试结果表明,Ar等离子体处理改善了PET塑料薄膜的表面形貌,使之更适合ITO薄膜的生长。以Ar等离子体处理的PET/ITO为衬底,在沉积温度为125℃条件下,制备出效率为5.4%的p-i-n型非晶硅(a-Si)柔性太阳电池。

引用

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页码：1417 / 1421

页数：5

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共 2 条

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Selvarajan, V. ;

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SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2008, 202 (17) :4218-4226

[2]

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