声表面波气体传感器技术

被引：8

作者：

王利敏

机构：

[1] 中国船舶重工集团公司第七一八研究所

来源：

关键词：

声表面波(SAW); 气体传感器; 声表面波延迟线(SAWDL); 声表面波谐振器(SAWR);

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

叙述了声表面波(SAW)技术发展历史及其在气体传感器领域的技术现状和发展趋势。介绍了延迟线型(SAWDL)和谐振器型(SAWR)两种振荡器结构及技术优缺点;介绍了基于气相色谱柱分离气体组分———声表面波气体传感器定性、定量检测气体的一种新型的气体检测技术。

引用

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