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轮廓干涉信号的CCD图象检测
被引：1
作者：
浦昭邦
那晓风
翁恪
张蕴东
机构：
[1] 哈尔滨工业大学
[2] 哈尔滨计量测试研究所
来源：
关键词：
CCD;
物镜放大倍数;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
<正> 一、概述要使轮廓干涉法仪器摆脱传统的目视、手动测量的关键技术是实现信号的自动检测。由于轮廓干涉图象是一幅两维光学图象,其峰高与波谷反映了被测件的高度参数,而波距反映被测件的水平参数,因此一幅二维的干涉条纹图象实质就是被测件表面粗糙度的光能分布图。这样要实现轮廓干涉信号的自动检测最
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