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进入大直径时代的硅材料产业
被引：2
作者：
万群
机构：
[1] 北京有色金属研究总院
来源：
关键词：
大直径硅片;
亚微米;
大直径;
晶体管;
半导体三极管;
硅材料产业;
单晶炉;
电炉;
抛光片;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN304 [材料];
学科分类号：
0805 ;
080501 ;
080502 ;
080903 ;
摘要：
进入大直径时代的硅材料产业北京有色金属研究总院万群近些年，电子信息产品的发展令人信服地感受到我们所处的时代是信息时代。而信息技术的成就主要归功于制作在硅片上的集成电路。集成电路由最早的，一个电路只有几个、几十个晶体管，发展到现在上亿个晶体管；硅片直径...
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