探测器像素尺寸对PMP测量精度的影响研究

被引：2

作者：

李勇 ^{[1
]}

苏显渝 ^{[2
]}

叶茂群 ^{[1
]}

机构：

[1] 浙江师范大学信息光学研究所

[2] 四川大学光电科学技术系

来源：

光学与光电技术 | 2008年 / 03期

关键词：

相位测量轮廓术; 像素尺寸; 积分采样; 测量误差;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP274 [数据处理、数据处理系统];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ; 081002 ; 0835 ;

摘要：

以阶跃型反射率分布为例,分析了像素尺寸对相位测量轮廓术(PMP)测量精度的影响情况。仿真结果表明相位测量误差大小随感光单元覆盖的相位范围增加而增加,即采用高分辨率探测器可以得到高的测量精度;相位测量误差大小与阶跃在感光单元上的位置有关,存在导致最大误差的位置,并且该位置与阶跃相对幅值有关;相位测量误差大小随阶跃相对幅值增大而增大,偏向反射率高的方向。研究结果为PMP测量系统设计中图像探测器选择、测量精度评价提供了依据。

引用

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