材料内部脱粘的红外无损检测

被引:7
作者
陈珏
机构
[1] 东南大学!江苏南京
关键词
红外检测; 缺陷;
D O I
暂无
中图分类号
TP274 [数据处理、数据处理系统];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 080402 ; 081002 ; 0835 ;
摘要
根据传热学理论分析了内含缺陷和脱粘的材料表面温差 ,给出了键合硅片表面温差与缺陷的深度、厚度及加热时间之间关系的计算结果 ,介绍了利用红外热像仪检测材料内部脱粘的方法。
引用
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共 2 条
[1]  
British Journal ofNAT. Williams J H,et al. . 1980
[2]  
British Journal ofNDT. Vavilov V P. . 1980