光栅成像光谱仪同心光学系统研究

被引:15
作者
黄元申
倪争技
庄松林
机构
[1] 上海理工大学上海光学仪器研究所
关键词
应用光学; 成像光谱仪; 同心光学系统; 远心条件; 波像差; 光瞳; 光栅;
D O I
暂无
中图分类号
TH744.1 [];
学科分类号
摘要
详细讨论了光栅同心光谱仪的波像差表达式。当入射光束与出射光束平行时,单色同心光学系统空间任一点成几何理想像。揭示了光栅同心光谱仪满足远心条件时,光瞳像差仅有三级球差和场曲及高级剩余像差,系统需要校正场曲和球差。光栅必须放在前后光学部分的焦平面上,满足远心条件。最佳光栅刻线是等间隔平行线。介绍了两种典型同心光学系统的结构和特性。
引用
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共 2 条
[1]   同心三反射镜光学系统研究 [J].
黄元申 ;
倪争技 .
光学仪器, 2005, (02) :42-46
[2]  
Annular field systems and the future of optical microlithography .2 Offner A. Optical Engineering . 1987