数字化白光扫描干涉仪的研究

被引：16

作者：

张以谟

井文才

张红霞

李海峰

李朝辉

不详

机构：

[1] 天津大学精密仪器与光电子工程学院光电子技术科学教育部重点实验室

[2] 天津大学精密仪器与光电子工程学院光电子技术科学教育部重点实验室天津

[3] 天津

来源：

光学精密工程 | 2004年 / 06期

关键词：

白光干涉仪; 扫描模式; 微形貌测量; 偏振耦合点位置测量;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744 [物理光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

研究并设计实现了微形貌测量白光扫描干涉仪系统和光纤偏振耦合点监测白光扫描干涉仪系统。前者采用Mirau相移干涉形式,用压电陶瓷传感器PZT作移项器,主要用于微形貌测量,精度可达nm量级。后者采用光路补偿白光Michelson干涉形式,用格兰棱镜对偏振态进行调整控制,用移动参考臂来补偿由于耦合点所造成的光程差,光纤寄生偏振耦合测试仪的空间分辨率达到50mm,测量范围达到1km,探测灵敏度不小于-80dB(耦合模式与主模式的功率比)。

引用

页码：560 / 565

页数：6

共 13 条

[1]

Fiber Optic Gyros: 15th Anniversory Conference. MARTIN P. Proceedings of SPIE the International Society for Optical Engineering . 1991

[2]

HARASAKI A,WYANT J C. Applied Optics . 2000

[3]

JING W,ZHANG Y,ZHOU G,et al. Optics Express . 2002

[4]

CHOUEIRI E Y. Journal of Space . 1996

[5]

GOODE R,BALL G,NISHIHARA S,et al. American Journal of Otolaryngology . 1996

[6]

MICHAEL B. Applied Optics . 2002

[7]

HARASAKI A. Applied Optics . 2000

[8]

WYANTJC. PhaseShiftinterferometry . 2000

[9]

HINCHLIFFE. Physical Review . 1997

[10]

WICKRAMASINGHEHK. Journal of Vacuum Science Technology A Vacuum Surfaces and Films . 1990

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