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梯度过渡涂层的制备
被引：3
作者：
李戈扬
王岱峰
王公耀
李鹏兴
张流强
郑永铭
机构：
[1] 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室
[2] 中国工程物理研究院
来源：
关键词：
磁控溅射,梯度涂层,内应力;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN305.92 [溅射];
学科分类号：
1401 ;
摘要：
本文采用多靶磁控溅射技术制备ＴｉＣ／Ａｌ界面梯度过渡层，过渡层由ＴｉＣ和Ａｌ的成分梯度变化组成，其成分由Ａｌ基体侧平缓过渡到ＴｉＣ涂层侧。梯度过渡层的成分变化经ＡＥＳ测定，并用光学金相显微镜观察了涂层形貌。实验结果表明，当梯度层厚度大于某临界值后，由内应力所致的表层ＴｉＣ裂纹消除
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