电容式微加速度计结构的建模及仿真

被引：5

作者：

周华

沈连官

尤辉

李川奇

机构：

[1] 中国科技大学精密机械与精密仪器系!合肥

来源：

关键词：

电容式微加速度计; 有限元分析; 模态分析;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH824.4 [];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

建立了电容式微加速度计的结构模型，运用有限元分析方法对其进行模态分析，研究了微加速度计结构尺寸对谐振频率和模态振型的影响，得出了结构尺寸对这两者的影响规律，为此类加速度计的结构设计提供了依据。

引用

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