小型非球面轮廓测量仪的原理及应用

介绍了自行研制的FLY I非球面轮廓仪的设计以及测量软件数学模型,其实用精度为1～2μm。光学元件的抛光精度取决于精磨精度,本实验室现有的LOH高精度铣磨机床经过对第1次精磨后的光学元件面形进行修正,2次精磨后其精磨精度可达到2μm。研究了这一非球面轮廓仪以配合LOH铣磨机床,测量得到1次精磨后的面形误差数据,经过误差反馈进行2次精磨,以保证光学元件的精磨精度。通过多次实验以及数据处理、分析,证明自行设计、装调的非球面轮廓仪达到了设计的精度要求,可满足实验室,光学加工车间对小型非球面精磨阶段面形的检测要求,即精磨面形误差在2μm以内,同时也可直接用于中低精度非球面光学元件的最终检测。