国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用

被引：17

作者：

亢春梅

曹金名

刘光辉

机构：

[1] 信息产业部电子第四十九研究所

[2] 信息产业部电子第四十九研究所黑龙江哈尔滨

[3] 黑龙江哈尔滨

来源：

关键词：

MEMS技术; 现状; 应用;

D O I：

10.13873/j.1000-97872002.06.002

中图分类号：

TP21 [自动化元件、部件];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ;

摘要：

概括介绍了国外MEMS技术的主要工艺、特点、市场及预测、研究发展方向 ,重点介绍了国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用。

引用

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