光栅纳米测量中的系统误差修正技术研究

被引：17

作者：

余文新

胡小唐

邹自强

机构：

[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

[2] 北京光电量仪研究中心

来源：

计量学报 | 2002年 / 02期

关键词：

光栅; 纳米测量; 系统误差; 细分误差; 误差修正;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

摘要：

详细研究了光栅纳米测量系统的误差特性 ,以及利用激光干涉仪对高精度光栅测量系统的系统误差进行检测、并在信号处理中予以补偿和修正的方法。实验表明 ,通过这种系统误差修正方法对周期累计误差和细分误差同时进行修正 ,能够大幅度地将计量光栅系统的测量准确度从微米或亚微米量级提高到纳米级水平 ,以实现光栅纳米测量。

引用

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