化学气相沉积钨铼合金工艺研究

被引：11

作者：

王芦燕

王从曾

马捷

侯艳艳

机构：

[1] 北京工业大学材料科学与工程学院功能材料教育部重点实验室

来源：

中国表面工程 | 2006年 / 06期

关键词：

化学气相沉积; 钨铼合金; 工艺;

D O I：

暂无

中图分类号：

TG174 [腐蚀的控制与防护];

学科分类号：

摘要：

以ReF6、WF6及H2为原料,用化学气相沉积法,成功地在铜基体表面沉积出钨铼合金。试验分析表明:合金成分均匀,且可由反应气体配比控制,随ReF6增加,合金中铼含量增加;沉积层组织和形貌随沉积温度升高或反应气体中ReF6的增加,由致密的柱状晶发展为杂乱的树枝晶;沉积层结构随ReF6的增加由单一固溶体向固溶体+金属间化合物+铼单质发展。

引用

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