溶胶-凝胶法制备SiO薄膜的研究

被引：26

作者：

王剑华

郭玉忠

刘荣佩

机构：

[1] 昆明理工大学材料科学与工程系!云南昆明

来源：

材料科学与工艺 | 1999年 / 03期

关键词：

SiO2; 薄膜; 溶胶-凝胶;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

硅溶胶制备ＳｉＯ２薄膜时用正交试验法系统地研究了各种因素对溶胶稳定性和ＳｉＯ２薄膜成膜性的影响．研究表明：溶液浓度、加水量和催化剂是制备良好成膜性溶胶的关键因素，控制干燥化学添加剂（ＤＣＣＡ）在加入量超过一定比例后对抑制膜层开裂有明显作用．研究给出成膜性优良的硅溶胶组分比例为（ＴＥＯＳ：ＲＯＨ：Ｈ２Ｏ：ＤＣＣＡ：ＨＣｌ＝１：７０：１０：１．６：０．０５）．

引用

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