小型微/纳米级三坐标测量机的研制

被引：21

作者：

范光照

朱志良

钟添东

机构：

[1] 合肥工业大学仪器仪表学院,南台科技大学机械系,台湾大学机械系合肥台湾大学机械系,台北,台南,台北

来源：

纳米技术与精密工程 | 2003年 / 01期

关键词：

小型三坐标测量机; 纳米定位平台; 衍射干涉激光尺; 自动聚焦探头;

D O I：

10.13494/j.npe.2003.005

中图分类号：

TH721 [坐标器和自动坐标器];

学科分类号：

摘要：

介绍一套低成本小型三维坐标测量机的研制过程,作为微/纳米级超精密测量设备,整体机台结构采用花岗岩材料;X/Y轴的移动平台利用压电材料摩擦驱动与挠性变形原理,长短两行程可达25 mm范围及5 nm的微位移,藉自行研发的衍射干涉激光尺,位置回馈测量系统可具有0.025 nm的分辨率;测量探头在一般DVD光读取头的自动聚焦原理基础上改装,最佳分辨率可达2.5 nm.该雏形机适于测量微机电组件、微型器件及膜厚等.

引用

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页数：7

共 5 条

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