共 1 条
SOI高温器件及其在汽车电子等领域中的应用
被引：3
作者：
刘彦松
多新中
黄继颇
张苗
王连卫
林成鲁
机构：
[1] 中国科学院上海冶金研究所
来源：
关键词：
SOI，高温器件和电路;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN409 [应用];
学科分类号：
080903 ;
1401 ;
摘要：
石油钻井、航空航天、汽车等工业领域急需能在高温下工作的器件和电路．ＳＯＩ（ｓｉｌｉｃｏｎ－ｏｎ－Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）技术在高温器件和电路方面有着广泛的应用前景．文章简要介绍了ＳＯＩ技术应用于制造高温器件和电路方面的进展情况
引用
收藏
页码：32 / 36
页数：5
相关论文