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类金刚石薄膜的性质、应用及制备
被引：35
作者：
梁风
严学俭
机构：
[1] 复旦大学材料科学系
来源：
关键词：
类金刚石薄膜;
化学气相沉积;
膜层;
化学沉积;
工作气压;
基片温度;
D O I：
暂无
中图分类号：
O484 [薄膜物理学];
学科分类号：
080501 ;
1406 ;
摘要：
介绍了类金刚石薄膜的结构特征，并详细讨论了采用物理化学气相沉积方法制备类金刚石薄膜过程中各相关参数之间的关系以及对薄膜结构和性质的影响
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页码：122 / 129
页数：8
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