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Seemann-Bohlin X射线薄膜衍射装置的强度分析
被引：7
作者：
陶琨
董志力
陈顺英
王并举
机构：
[1] 清华大学材料科学研究所
来源：
关键词：
衍射强度;
Seemann-Bohlin X;
衍射装置;
射线管;
射线理论;
强度分析;
结构分析;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
研制了无前单色器Seemann-Bohlin掠射聚焦装置,并对Seemann-Bohlin法的衍射强度公式进行了讨论.计算表明:1.此装置测定表面层及薄膜的衍射强度约为普通衍射仪法的7—20倍。用1kW的X射线源即可快速测得7nm金膜的2θ<120.的衍射线.2.厚样品的衍射强度也可达一般衍射仪法的3—20倍.实验证实了这个结果.
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页码：486 / 491
页数：6
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