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高导热金刚石薄膜的研究
被引：10
作者：
顾长志
金曾孙
吕宪义
邹广田
张纪法
方容川
机构：
[1] 吉林大学超硬材料国家重点实验室
[2] 中国科学技术大学物理系
来源：
关键词：
金刚石膜;
导热系数;
热力学性质;
金刚石薄膜;
光热偏转法;
声子;
准粒子;
化学汽相沉积;
化学气相沉积;
输运过程;
碳源;
高导热;
D O I：
暂无
中图分类号：
P619.241 [];
学科分类号：
摘要：
分析了影响金刚石膜热导率的主要因素，指出声子的散射是造成金刚石膜热导率降低的主要原因．采用光热偏转法实现了金刚石薄膜热导率的测试，测量误差小于５％，从减少杂质和晶界对导热声子的散射入手，研究了在不同的制备方法下碳源气体和金刚石膜内晶粒取向对其热导率的影响．结果表明在低碳源气体浓度下采用微波等离子体化学汽相沉积方法制备的具有较高程度（４００）晶粒取向的金刚石薄膜具有高的热导率性质．优化的工艺条件制备出热导率为１５２Ｗ／（Ｋ·ｃｍ）左右的金刚石膜．
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