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PSD在形位误差测量中应用
被引：5
作者：
池晓红
朱小平
机构：
[1] 青海省计量测试技术研究所
来源：
关键词：
PSD;
error of shape and position;
D O I：
10.16428/j.cnki.cn11-4827/t.1995.06.006
中图分类号：
TG81 [长度测量及其量仪];
学科分类号：
摘要：
直线度的测量，是形位误差测量中的重要项目．工件表面或机器运动导轨的直线度，往往又是机械设备或精密仪器的精度保证。直线度的测量有许多传统的方法，如自准直仪法、电子水平仪法、打表法、激光干涉法等，在这些方法中，要么测量安装困难，要么测量精度不高，限制了这些测量方法的应用范围。本文提出了一种基于ＰＳＤ（ＰｏｓｉｔｉｏｎＳｅｎｓｉｎｇＤｅｔｅｃｔｏｒ）接收器的简易、快速的测量方法．
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