圆光栅副的系统误差分析

被引：2

作者：

史玉苓

徐成

韦春才

机构：

来源：

沈阳工业大学学报 | 1997年 / 01期

关键词：

光电编码盘; 误差; 光栅;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN29 [光电子技术的应用];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

圆光栅副的系统误差主要包括微量不等距系统误差，均匀性误差，光栅栅线刻划误差等三种误差。分析它们产生的原因和它们对莫尔条纹的影响

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[1] 高分辨率、增量式光电编码器 [J].

史玉苓 ;

徐成 ;

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仪表技术与传感器, 1995, (03) :23-25