梳状型高线性度一维位敏检测器

被引：16

作者：

黄梅珍

唐九耀

林斌

陈钰清

曹向群

机构：

[1] 浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心!杭州

[2] 福州大学电子科学与应用物理系

[3] 福州

[4] 浙江大学国家光学仪器工

来源：

光子学报 | 2000年 / 08期

关键词：

位敏检测器; 梳状结构; 高线性度;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN36 [半导体光电器件];

学科分类号：

080508 [光电信息材料与器件];

摘要：

介绍了一种梳状型一维位敏检测器 ( PSD)的结构 ,对其工作原理进行了分析 .比较测试了这种梳状结构 ( 1mm× 12 mm) PSD与普通块状型结构 ( 1mm× 3 mm) PSD的线性度 ,实验表明 :梳状结构的 PSD具有极高的线性度 (均方根非线性为 0 .17% F.S)和较小的边缘失真 .对影响一维 PSD线性度的因素进行了分析 ,并对结果进行了讨论 .

引用

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