硅微结构惯性传感器的研制现状及应用前景

被引：7

作者：

许国祯

机构：

[1] 中国航空信息中心研究部

来源：

关键词：

惯性仪表,微米／纳米技术,微电子机械加工技术;

D O I：

10.13695/j.cnki.12-1222/o3.1998.01.013

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

本文从介绍硅微结构惯性传感器的研制背景入手，分析了微米／纳米技术近年来的进展对发展硅微传感器的推动作用，重点介绍了美国主要公司有关硅微结构惯性仪表的研制现状，最后结合市场预测，提出笔者对我国发展硅微惯性传感器的几点浅见。

引用

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