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透明导电膜及靶材
被引：93
作者：
韩雪
夏慧
吴丽君
机构：
[1] 北京有色金属研究总院
来源：
关键词：
透明导电膜,靶材,Sn掺杂In2O3;
D O I：
暂无
中图分类号：
TM201.43 [];
学科分类号：
摘要：
透明导电膜在电气及光学领域的应用日益广泛。近年来以掺杂Ｓｎ的Ｉｎ２Ｏ３（简称ＩＴＯ）开发和应用受到重视。用ＩＳＯ靶通过溅射法制备ＩＴＯ透明导电膜。由金属铟制取氧化铟粉末，后与氧化锡混合、压制烧结制出相对密度达９５％的ＩＴＯ靶材。
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页数：5
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