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等离子体源离子注入鞘层时空演化的研究
被引：7
作者：
于炯，宫野，王德真
机构：
[1] 大连理工大学物理系
来源：
关键词：
等离子体源离子注入，碰撞等离子体鞘层，数值计算;
D O I：
10.16568/j.0254-6086.1995.04.002
中图分类号：
TL629.1 [];
学科分类号：
摘要：
本文使用流体动力学模型，研究了平板、柱形和球形靶的无碰撞及碰撞等离子体鞘层的时空演化，得到了鞘层边界演化、靶表面的离子注入电流密度和离子注入平均动能等参量。
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